⚙️ 製造装置
SMEE (上海微電子)
上海微电子装备 / SMEE
🇺🇸 Entity List (技術的ボトルネック)
プロセス技術
90nm (量産), 28nm (検証中)
月産能力
年産数十台
主要製品
ArF液浸露光装置, i線/KrF露光装置, 検査装置
中国唯一の露光装置(リソグラフィ)メーカー。ASMLに対する最大の弱点。90nm世代は量産済みだが、最先端の28nm対応機(SSA800-10W)は歩留まり向上に苦戦中。
🔧 ハードウェア開発
光学レンズ系, ステージ制御
💻 ソフトウェア開発
露光制御SW
📈 今後の展望
28nm液浸露光装置の完全実用化が、中国半導体自立の最後のピースとなる。