プロセス技術
90nm (量産), 28nm (検証中)
月産能力
年産数十台
主要製品
ArF液浸露光装置, i線/KrF露光装置, 検査装置
中国唯一の露光装置(リソグラフィ)メーカー。ASMLに対する最大の弱点。90nm世代は量産済みだが、最先端の28nm対応機(SSA800-10W)は歩留まり向上に苦戦中。...