マスクの鏡、レジスト、実波長の検査。世界シェア7割から事実上の独占までが数社に集まり、止まれば代替が利かない
レチクルの壁から、円形ウエハーの限界、反りとの戦い、ガラス基板まで。パネルレベル実装の全工程を追う
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